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二维光子晶体选择性辐射器及制备方法技术
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文档序号:17543135
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本发明涉及一种二维光子晶体选择性辐射器及制备方法,其中包括基体材料和形成于所述基体材料表面的二硅化钛薄膜,所述基体材料为硅材料,所述基体材料的表面刻蚀形成周期性孔洞阵列,所述二硅化钛薄膜沉积于所述基体材料的表面后形成硅/二硅化钛二维光子晶体...
该专利属于绍兴文理学院所有,仅供学习研究参考,未经过绍兴文理学院授权不得商用。
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