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本实用新型涉及一种晶体生长过程高精度温度控制系统，系统包括生长装置、过滤装置和控制装置。控制装置由PLC、触摸屏、输入接口、输出接口、固态继电器和高精度智能温度控制表组成；PLC通过输入接口与过滤装置中液位开关及测温热电阻相连，通过输出接口...
该专利属于江南大学所有，仅供学习研究参考，未经过江南大学授权不得商用。

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