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一种用于自动教导基板站位置的基板运输设备自动教导系统，所述系统包括：框架；基板运输器，所述基板运输器连接至所述框架，所述基板运输器具有被构造成支撑基板的末端执行器；以及控制器，所述控制器被构造成使所述基板运输器移动，使得所述基板运输器抵靠基...
该专利属于布鲁克斯自动化公司所有，仅供学习研究参考，未经过布鲁克斯自动化公司授权不得商用。

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