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本发明公开了一种载片传输装置及其传输方法，该载片传输装置包括运动导轨，与运动导轨连接的输送机构和设于运动导轨上且与输送机构连接的载片台，载片置于所述载片台上，还包括与载片台连接的旋转机构和冷却机构，载片台上设有相对于旋转机构对称设置的第一载...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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