下载一种光刻机物镜冷却装置的技术资料

文档序号:15790604

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本发明涉及一种光刻机物镜冷却装置,包括水套和恒温水箱,所述水套上开设有若干个与物镜镜筒匹配的腔体,所述水套上各腔体的周围均匀开设有若干个沿所述腔体的轴向设置的孔,所述孔内设置有与所述恒温水箱连通的冷却水管,每两个相邻的冷却水管底部连通。本发...
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