下载一种半导体器件及其制造方法和电子装置的技术资料

文档序号:15748969

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本发明提供一种半导体器件及其制造方法和电子装置,涉及半导体技术领域。包括:提供器件衬底,在器件衬底的正面形成前端器件;沉积形成层间介电层覆盖前端器件及暴露的器件衬底的正面;在层间介电层上形成图案化的掩膜层,以覆盖前端器件对应的区域,暴露前端...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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