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一种具有保护晶圆的独立静电载具机构，用于承载一晶圆，该具有保护晶圆的独立静电载具机构为一独立运载的机构，不与其他机构作固定式的连接，仅用于静电连接晶圆；该晶圆上已制成多个芯片；该具有保护晶圆的独立静电载具机构包括：一载板，用于承载位于其上方...
该专利属于叶秀慧所有，仅供学习研究参考，未经过叶秀慧授权不得商用。

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