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本实用新型公开了一种减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，包括蚀刻腔室和装在该腔室上端口的上盖板，腔室内设有射频讯号源，所述上盖板内设有冷却回路，上盖板上设有与冷却回路连通的进管和出管，进管与冷却源连接，出管上设有温度感应器，进管装接有流...
该专利属于东莞市中图半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市中图半导体科技有限公司授权不得商用。

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