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本实用新型涉及一种基板自旋装置，其对圆形盘形状的基板进行支撑的同时使得基板进行旋转，其包括：基板支撑部，其支撑基板的边缘；荷重感知部，其感知从基板施加于基板支撑部的水平荷重；位置控制部，其根据在荷重感知部感知到的结果来控制相对于基板的基板支...
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