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本发明公开了一种离子源测试夹具，该夹具包括金属底座，放置于金属底座卡槽内的金属单尖样品，通过螺钉固定在金属底座上的绝缘层压块，通过螺柱和螺母固定在金属底座上的绝缘遮蔽层，通过螺钉固定在绝缘遮蔽层上的栅极金属片。该夹具通过螺柱和对称分布的L型...
该专利属于中国工程物理研究院电子工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院电子工程研究所授权不得商用。

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