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一种微流控芯片制作方法及装置制造方法及图纸
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下载一种微流控芯片制作方法及装置的技术资料
文档序号:15595322
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本发明公开了一种微流控芯片制作方法和装置,包括:在同一模具中同时制作基片和盖片,成型开模后,移动模具将基片与盖片的对准;在成型模温的基础上,对基片与盖片施加键合压力的同时,施加超声波。本发明所提供的微流控芯片模内键合技术直接在模具内完成基片...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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