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基于复合波导光栅的光学生物传感器制造技术
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下载基于复合波导光栅的光学生物传感器的技术资料
文档序号:15434283
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本发明公开了一种基于复合波导光栅的光学生物传感器,属于复合波导光栅的倒模共振技术领域。本发明的技术方案要点为:基于复合波导光栅的光学生物传感器,复合波导光栅的基底材料二氧化硅上生长有一层硅薄膜,该硅薄膜的横向正中部位刻蚀有宽度为f...
该专利属于河南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过河南师范大学授权不得商用。
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