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本发明公开了一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置，将壳体、磁屏蔽罩采用导磁材料制成，在壳体的一侧面设有均匀分布的多个冷却孔，并将磁屏蔽罩设置在带有多个冷却孔的壳体的一侧面上。使得电感耦合等离子体反应器在工作时，绝缘窗冷却装置既能够起到风冷作用...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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