下载一种砷化镓基异质结遂穿场效应晶体管的技术资料

文档序号:15247895

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本发明公布了一种砷化镓基异质结遂穿场效应晶体管结构,该器件结构包括:一N型掺杂的砷化镓半导体层;一本征的砷化镓半导体层;一P型锑化镓半导体层;一在N型掺杂的砷化镓半导体层上形成的漏电极;一在P型锑化镓半导体材料上形成的源电极;一在本征砷化镓...
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