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纵型场效应晶体管以及电力转换装置制造方法及图纸
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下载纵型场效应晶体管以及电力转换装置的技术资料
文档序号:15035281
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本发明涉及半导体装置以及电力转换装置。在半导体装置中抑制耐压的降低并且减少通态电阻。半导体装置具备基板、第一半导体层、第二半导体层、第三半导体层、沟槽以及覆盖沟槽的表面的绝缘膜,第一半导体层的载流子浓度在与面方向正交的厚度方向上形成峰值,上...
该专利属于丰田合成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过丰田合成株式会社授权不得商用。
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