下载电磁致动器用电枢线圈、电磁致动器、曝光装置及器件制造方法的技术资料

文档序号:15008711

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一种构成X轴线性马达的固定件并通过通电来产生磁场的电枢线圈(60)具有:带状的导电层(62a),由铜形成,卷绕于规定的绕线轴;带状的绝缘层(62b),设于导电层(62a)的相对的面部之间,使相对的导电层(62a)彼此间电气绝缘;粘接层(62...
该专利属于CKD株式会社;株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过CKD株式会社;株式会社尼康授权不得商用。

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