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本实用新型涉及一种改进型硅片自旋转及振荡机构，包括上下振荡机构和硅片自旋转机构，上下振荡机构包括上下振荡电机减速机、凸轮机构、偏摆轴承传动机构、线性滑轨，上下振荡电机减速机输出端连接凸轮机构，凸轮机构连接偏摆轴承传动机构，偏摆轴承传动机构做...
该专利属于冠礼控制科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过冠礼控制科技（上海）有限公司授权不得商用。

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