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一种基板处理装置，其包括：具有串联连接的臂链路的运输臂，所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度；至少第一滑轮和第二滑轮，其中，第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路；以及至少一个扭矩传递带，其在第一滑轮和第二滑轮之间纵向地延伸并且...
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