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一种感光膜旋转涂布装置制造方法及图纸
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文档序号:14851087
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本发明公开了一种感光膜旋转涂布装置,包括以真空吸附方式支撑基板的卡盘,设于基板上方的喷嘴以及固定在卡盘的底部用于驱动卡盘旋转的旋转轴,还包括设于基板外围,固定在卡盘上,用于阻断、集结没在基板上面涂布而脱离基板散开的感光膜的阻隔单元,所述阻隔...
该专利属于四川虹视显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川虹视显示技术有限公司授权不得商用。
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