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感光膜旋转涂布装置制造方法及图纸
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文档序号:14839848
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本发明公开了一种感光膜旋转涂布装置,包括卡盘、喷嘴、旋转轴和阻隔单元,阻隔单元包括水平部和侧壁部,侧壁部呈向上的倾斜状,越往上越接近卡盘,侧壁部的上端呈倒三角形。本发明所提供的感光膜旋转涂布装置,侧壁部的上端防止没在基板上面涂成而脱离的感光...
该专利属于四川虹视显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川虹视显示技术有限公司授权不得商用。
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