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本发明公开了一种炉管的氮气冷却系统及晶圆和晶舟的冷却方法，通过在氮气冷却系统中设置两路冷却管路，每路冷却管路分别采用质量流量控制器控制氮气流量，并通过在两路冷却管路中设置不同的氮气流量，使从冷却晶舟的第一冷却管每个出气孔中喷射出的氮气流量小...
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