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本发明提供了一种基板运输设备，包括：框架；上臂，所述上臂绕肩轴线旋转安装至所述框架；前臂，所述前臂绕肘轴线旋转安装至所述上臂，其中，所述前臂包括通过公共关节依赖于所述上臂的堆叠式前臂部；以及独立堆叠式末端效应器，所述独立堆叠式末端效应器旋转...
该专利属于布鲁克斯自动化公司所有，仅供学习研究参考，未经过布鲁克斯自动化公司授权不得商用。

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