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武汉华星光电技术有限公司
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基板分等级存放方法技术
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文档序号:14687441
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本发明提供一种基板分等级存放方法,在手动指定存放模式的基础上增加了随机存放模式、及混合存放模式。当对基板进行分等级存放时,将多个基板中数量较多的数个等级的基板放入对应的手动指定存放模式载具中,能够保证载具的满载率,提高相应等级的基板去下个站...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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