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本文公开了一种微型工作台，该微型工作台使用压电元件以使得该微型工作台能被可靠地操作，即使在真空环境下。在要求高精度的粒子柱中，例如，微电子柱，所述微型工作台能够被用作具有微米级或纳米级精度的工作台，以校准所述柱的部件，或者用于移动试样等。...
该专利属于电子线技术院株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过电子线技术院株式会社授权不得商用。

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