下载光电编码器及其光电转化芯片与定光栅的贴合结构的技术资料

文档序号:13978136

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本发明公开一种光电编码器及其光电转化芯片与定光栅的贴合结构。该贴合结构包括第一定位标记和用于在贴合时与所述第一定位标记对位的第二定位标记,所述第一定位标记形成在所述光电转化芯片上,所述第二定位标记形成在所述定光栅上,第一定位标记由光电转化芯...
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