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衬底运输设备制造技术
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文档序号:13781025
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一种传送设备包括:框架;连接到所述框架的多个臂,每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂的相应的臂的延伸和收缩的独立驱动轴线;线性轨,其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂;以及公共驱动轴线,其被每个臂分享并被配...
该专利属于布鲁克斯自动化公司所有,仅供学习研究参考,未经过布鲁克斯自动化公司授权不得商用。
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