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本发明提供一种用于杜瓦的便携电磁屏蔽桶,用于对低温杜瓦单元进行电磁屏蔽处理,包括:无磁桶型衬底;无磁帽型衬底,结合于所述无磁桶型衬底上,在所述无磁桶型衬底和无磁帽型衬底的结合处设置有凹凸锁,通过凹凸锁将无磁桶型衬底和无磁帽型衬底密封围成一密...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本发明提供一种用于杜瓦的便携电磁屏蔽桶,用于对低温杜瓦单元进行电磁屏蔽处理,包括:无磁桶型衬底;无磁帽型衬底,结合于所述无磁桶型衬底上,在所述无磁桶型衬底和无磁帽型衬底的结合处设置有凹凸锁,通过凹凸锁将无磁桶型衬底和无磁帽型衬底密封围成一密...