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具有由掺杂硅墨水形成的掺杂表面触点的硅衬底和相应的方法技术
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下载具有由掺杂硅墨水形成的掺杂表面触点的硅衬底和相应的方法的技术资料
文档序号:13074902
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本发明涉及具有由掺杂硅墨水形成的掺杂表面触点的硅衬底和相应的方法。使用掺杂硅纳米粒子墨水和其它液体掺杂物来源可提供适合的掺杂物来源,以便如果提供适合的帽盖,就使用热工艺将掺杂物元素驱入晶体硅衬底中。适合的帽盖包括例如盖板、可能搁置于或可能不...
该专利属于纳克公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳克公司授权不得商用。
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