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一种高密度ITO靶材的制备方法，其特征是：以化学共沉淀法制备的铟锡氧化物粉体为原料，添加由金属氧化物、磷酸化合物或磷氧化物和纳米SiO2组成的烧结剂，采用压滤成型的方法制备坯体，在氧气氛下于1450～1550℃烧结，保温时间为3～10小时，...
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