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光电编码器制造技术
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文档序号:11929823
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本实用新型公开一种高精度、高分辨率的光电编码器,包括:光源;标尺,其上设有均匀间距或角间距间隔、且具有不同反射率的明区域和暗区域,用于利用从所述光源照射的光在沿测量轴的第一方向上生成光的明暗图案;设置于所述光源和所述标尺之间的光束格栅,具有...
该专利属于新科实业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新科实业有限公司授权不得商用。
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