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本发明提供了一种基底输送系统示例实施例。该系统有引导通路和至少一个输送车辆。输送车辆适合于保持至少一个基底，并能够由引导通路支承和沿该引导通路运动。引导通路包括用于车辆的至少一个运行车道以及至少一个进入车道，该至少一个进入车道偏离运行车道，...
该专利属于布鲁克斯自动化公司所有，仅供学习研究参考，未经过布鲁克斯自动化公司授权不得商用。

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