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一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备，所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧。所述搬运设备包括：驱动部段；以及至少一个基部臂，所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可旋转...
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