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一种集成谐振器设备(100)，包括压电谐振器(120、124、128)；耦合到压电谐振器的声学布拉格反射器(104)；以及衬底(102)，所述声学布拉格反射器设置在衬底(102)上。该设备还包括覆盖压电谐振器的有源加热器层。有源加热器层(1...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。

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