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一种相干光时域反射测量方法及反射仪装置制造方法及图纸

技术编号:9992786 阅读:159 留言:0更新日期:2014-05-02 10:18
本发明专利技术公开了一种相干光时域反射测量方法,其特征在于:采用测试脉冲光获取被测器件的散射/反射信息,采用本地脉冲光与散射/反射回来的光信号进行干涉,通过调整测试脉冲光和本地脉冲光各自的重复频率,完整的构造出反射/散射光信号,再经光电转换和模数转换,获取散射/反射光位置信息;所述测试脉冲光和本地脉冲光的脉宽与所需空间分辨率相适应,相邻脉冲距离远大于脉宽。一种采用上述方法的相干光时域反射仪装置,其特征在于:包括激光器、光分束器、一对脉冲发生装置、光循环器、光电检测器。本发明专利技术可以同时实现超高空间分辨率,以及散射/反射光位置信息的自动获取,且无需使用昂贵的高速光电探测器和高速模数转换器。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:樊昕昱何祖源刘庆文杜江兵谢峰马麟
申请(专利权)人:何祖源上海正海资产管理有限公司
类型:发明
国别省市:

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