一种移相单元及其构成的MEMS太赫兹移相器制造技术

本发明专利技术公开了一种移相单元及其构成的MEMS太赫兹移相器，主要解决了现有太赫兹移相器寄生参数过多、工艺敏感性强、驱动电压过大等问题。该移相单元包括基底，设置在基底相对两侧的CPW信号线地线，开设于CPW信号线地线相对端的凹槽，通过该凹槽插入CPW信号线地线之中的具有开路终端的CPW信号线，两端分别与具有开路终端的CPW信号线连接的MEMS可动梁，以及设置于基底上并位于MEMS可动梁下方的CPW信号线；在其中一条CPW信号线地线上沿其长度方向开设有与该CPW信号线地线上的凹槽连通的槽，槽内放置有静电驱动偏置线，该静电驱动偏置线的一端连接具有开路终端的CPW信号线，另一端连接有偏置电极正极焊盘；CPW信号线与具有开路终端的CPW信号线共用CPW信号线地线。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种移相单元，其特征在于，包括基底（1），设置在基底（1）相对两侧的CPW信号线地线（2），开设于两条CPW信号线地线（2）相对端的凹槽，通过该凹槽插入CPW信号线地线（2）之中的具有开路终端的CPW信号线（4），两端分别与两条具有开路终端的CPW信号线（4）连接的MEMS可动梁（5），以及设置于基底上并位于MEMS可动梁（5）下方的CPW信号线（3）；在其中一条CPW信号线地线（2）上沿其长度方向开设有与该CPW信号线地线（2）上的凹槽连通的槽，槽内放置有 静电驱动偏置线（6），该静电驱动偏置线（6）的一端连接与之相邻的具有开路终端的CPW信号线（4），另一端连接有偏置电极正极焊盘（7）；所述CPW信号线（3）与具有开路终端的CPW信号线（4）共用CPW信号线地线。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杜亦佳，苏伟，陈樟，熊永忠，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51