【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电系统，其特征在于，包括：微机械传感器以及与所述微机械传感器连接的检测电路；其中，所述微机械传感器包括微机械传感电容；所述检测电路包括：自测试电容阵列以及与所述自测试电容阵列连接的信号读取和处理模块；其中，所述自测试电容阵列用以输出周期变化的电荷；所述信号读取和处理模块包括：顺次连接的电荷放大器、解调器及低通滤波器；所述信号读取和处理模块用以根据所述自测试电容阵列输出的周期变化的电荷输出一电压信号，所述电压信号用以判断所述检测电路是否正常工作，完成自测试功能。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：潘华兵，郑泉智，陈灿锋，
申请(专利权)人：杭州士兰微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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