光纤、光纤装置及激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术是有关于一种光纤，其以简单的构成获得强度分布均匀的矩形状的激光。该光纤用以传送来自激光光源的激光，具有：第1纤维，具有圆形芯；及第2纤维，具有矩形芯，且连接于第1纤维的端面。本发明专利技术还有关于一种光纤装置及激光加工装置。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术是有关于一种光纤，其以简单的构成获得强度分布均匀的矩形状的激光。该光纤用以传送来自激光光源的激光，具有：第1纤维，具有圆形芯；及第2纤维，具有矩形芯，且连接于第1纤维的端面。本专利技术还有关于一种光纤装置及激光加工装置。【专利说明】光纤、光纤装置及激光加工装置
本专利技术是关于一种光纤，尤其是用以传送来自激光光源的激光的光纤，及包含该光纤的光纤装置。又，本专利技术还关于一种具有以上的光纤或光纤装置，且对工件进行加工的激光加工装置。
技术介绍
例如在制造薄膜太阳电池的情形时，首先，在玻璃等基板上形成由钥(Mo)膜所构成的下部电极膜，其后，将下部电极膜分割成短条状。其次，在下部电极膜上形成包含CIGS膜等黄铜矿结构化合物半导体膜的化合物半导体膜。其次，进而将该等半导体膜的一部分呈条纹状地去除并分割成短条状，以覆盖其等的方式形成上部电极膜。最后，将上部电极膜的一部分呈条纹状地剥离并分割成短条状。如上所述，在制造薄膜太阳电池时，必须将形成于基板上的金属膜绝缘分离，为了形成该绝缘用的槽，而使用激光加工装置。例如，在专利文献I中，对工件照射矩形状的激光，并且将该激光于固定的方向上以既定的覆盖率进行扫描，借由进行刻划加工而形成绝缘用的槽。又，在专利文献2中，揭示有于如上所述的激光加工时用以获得较高的加工效率的装置。在该装置中，揭示有如下内容:为了使对工件照射的激光的强度分布均匀，而使光纤的芯的剖面形状为将圆形的一部分切缺而成的D型形状、长方形形状或星型形状。在专利文献I的装置中，由于对工件照射矩形状的激光，故而与照射圆形的激光的情形相比，可高效地加工槽，又，可形成短路等可能性较低的绝缘用的槽。然而，在专利文献I的装置中，为了使激光的强度分布均匀，而必须使用多模的激光，缺乏通用性。 又，在专利文献2的装置中，必须使光纤的芯的剖面形状为特殊形状。日本特开昭62-168688号公报日本特开2006-278525号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于以简单的构成获得强度分布均匀的矩形状的激光。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本专利技术提供一种光纤，用以传送来自激光光源的激光，且具有--第I纤维，具有圆形芯；及第2纤维，具有矩形芯且连接于第I纤维的端面。其中，借由利用熔接等将圆形芯的光纤与矩形芯的光纤连接，而可获得矩形状且均匀的强度分布的激光。此种光纤即便在使用单模的激光的情形时，自矩形芯的纤维出射的激光的强度分布亦均匀。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。前述的光纤，其中第I纤维被入射来自激光光源的激光，第2纤维传送自第I纤维入射的激光。此处，与上述同样地，可获得强度分布均匀的矩形状的激光，借由使用该光纤构成激光加工装置，而可提高加工效率，又，可形成精度较高的槽。前述的光纤，其中第I纤维与第2纤维的彼此的端面熔接。本专利技术的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现的。本专利技术提供一种光纤装置，用以传送来自激光光源的激光，且具备:第I纤维，具有圆形芯；多个第2纤维，具有矩形芯；及纤维分离器。纤维分离器在输入侧连接有第I纤维，在输出侧连接有多个第2纤维。此处，与上述同样地，可在各个第2纤维的输出侧获得强度分布均匀的矩形状的激光。再者，纤维分离器具有圆形芯的纤维。借由使用纤维分离器，而可自I个激光获得多个矩形状的激光。因此，借由将该光纤装置使用于激光加工装置中，而可提高加工效率。本专利技术的目的及解决其技术问题又采用以下技术方案来实现的。本专利技术提供一种激光加工装置，照射激光并对工件进行加工，且具备:平台，载置工件；激光头，输出激光；第I聚光透镜，将激光聚光；第I纤维，具有圆形芯，且被入射借由第I聚光透镜而聚光的激光；第2纤维，具有矩形芯，且连接于第I纤维的端面;第2聚光透镜，将自第2纤维输出的矩形形状的激光对平台上的工件聚光；及移动机构，使工件对激光相对移动。在该装置中，自激光头输出的激光经第I聚光透镜而聚光而导入至圆形芯的第I纤维，进而导入至矩形芯的第2纤维。而且，自第2纤维输出矩形状的激光。该矩形状的激光经由第2聚光透镜而照射至平台上的工件。此处，可将强度分布均匀的矩形状的激光照射至工件，而可提高加工效率，并且可于工件上形成加工品质良好的槽。本专利技术的目的及解决其技术问题又采用以下技术方案来实现的。本专利技术提供一种激光加工装置，照射激光并对工件进行加工，且具备:平台，载置工件；激光头，输出激光；第I聚光透镜，将激光聚光；第I纤维，具有圆形芯，且被入射借由第I聚光透镜而聚光的激光；纤维分离器，在输入侧连接有第I纤维；多个第2纤维，具有矩形芯，且连接于纤维分离器的输出侧；第2聚光透镜，将自第2纤维输出的矩形形状的激光对平台上的工件聚光；及移动机构，使工件对激光相对移动。在该装置中，自激光头输出的激光经第I聚光透镜而聚光而导入至圆形芯的第I纤维。其后，激光借由纤维分离器而分支而导入至矩形芯的多个第2纤维。而且，自多个第2纤维输出矩形状的激光。该矩形状的激光经由第2聚光透镜而照射至平台上的工件。此处，可将强度分布均匀的矩形状的多个激光照射至工件，而可提高加工效率，并且可于工件上形成加工品质良好的槽。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。前述的激光加工装置，其中激光头输出单模的激光。在圆形芯的第I纤维连接矩形芯的第2纤维，借由传送激光，而即便在使用单模的激光的情形时，亦可将强度分布均匀的矩形状的激光照射至工件。借由上述技术方案，本专利技术光纤、光纤装置及激光加工装置至少具有下列优点及有益效果:借由本专利技术，能以简单的构成获得强度分布均匀的矩形状的激光。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。【专利附图】【附图说明】图1:本专利技术的第I实施例的激光加工装置的概略构成图。图2:本专利技术的第2实施例的激光加工装置中使用的光纤装置的概略构成图。图3A:表示自第2实施例的装置的矩形芯纤维出射的激光的强度分布的图。图3B:表示对100 μ mX 100 μ m的矩形芯纤维入射激光的情形时的出射激光的强度分布的图。图4A:表示用以测定具有圆形芯纤维的纤维分离器的出射激光的强度分布的装置构成图。图4B:表示用以测定图4A中并未设置纤维分离器的情形时(仅圆形芯纤维)的纤维的出射激光的强度分布的装置构成图。图5A:表示图4A的激光的强度分布的图。图5B:表示图4B的激光的强度分布的图。【主要元件符号说明】1:激光头2:光学系统3:扫描机构8:光纤20:光纤装置8a、21:圆形芯纤维8b、23a~23d:矩形芯纤维10:扫描台11:间距馈送台22a~22c:纤维分离器【具体实施方式】为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本专利技术提出的一种光纤、光纤装置及激光加工装置的【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如后。在图1中表示本专利技术的第I实施例的激光加工装置。作为一例，该激光加工装置为对附有Mo薄膜的玻璃基板照射激光，并且沿着槽预定线照射激光，将槽预定线的Mo薄本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光纤，用以传送来自激光光源的激光，其特征在于其具有：第1纤维，具有圆形芯；及第2纤维，具有矩形芯，且连接于该第1纤维的端面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：井上修一，村上政直，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP