【技术实现步骤摘要】
一种装载薄膜基片工件架的打磨、保养装置
本技术涉及太阳能光伏
，具体涉及一种装载薄膜基片工件架的维护>J-U装直。
技术介绍
在非晶硅薄膜太阳能电池生产制程中，对基片工件架打磨、清洁保养，是PECVD工艺不可忽略的难题。因尚无专用自动化的工件架打磨、清洁保养工具。目前工件架的处理方式:均为人工使用木质长条形工具进行打磨、保养作业。但工件架内基板之间的间距狭小，且结构较复杂因此人工处理使得中间位置难以做打磨、清洁保养彻底。打磨、清洁保养后，基板上仍旧会存在沉积反应残留的硅基颗粒及铝粉颗粒，这些存在的种种颗粒，在导电玻璃基片上沉积非晶硅薄膜完成不同光吸收层电池的制作时，不可避免的会有颗粒附着基片上，造成沉积导电薄膜时出现针孔、透空等镀膜不良，影响薄膜电池的转化效率。
技术实现思路
本技术为了克服以上技术的不足，提供了一种打磨、清洁方便的装载薄膜基片工件架的打磨、保养装置。本技术克服其技术问题所采用的技术方案是:本装载薄膜基片工件架的打磨、保养装置，包括壳体、通过轴承转动安装于安装于壳体内的传动轴、安装于壳体内的电机、安装于电机输出轴上的蜗杆、安装于传动轴尾端且与蜗杆相互啮合的蜗轮、固定于壳体后方的弹簧电缆以及安装于壳体后端的调速开关，电机一端连接于弹簧电缆的零线，另一端连接于双向可控硅以及保险丝连接于弹簧电缆的火线，一电容并联于双向可控硅两端，所述调速开关与电阻串联后并联于双向可控硅两端，所述传动轴的头端可拆卸的固定有用于打磨的打磨装置以及用于清洁保养的保养装置。上述传动轴的头端沿径向设置有若干锥孔，所述清洁保养装置包括与锥孔锥度相匹配...
【技术保护点】
一种装载薄膜基片工件架的打磨、保养装置，其特征在于：包括壳体（1）、通过轴承（3）转动安装于安装于壳体（1）内的传动轴（2）、安装于壳体（1）内的电机（7）、安装于电机（7）输出轴上的蜗杆（6）、安装于传动轴（2）尾端且与蜗杆（6）相互啮合的蜗轮（5）、固定于壳体（1）后方的弹簧电缆（9）以及安装于壳体（1）后端的调速开关（8），电机（7）一端连接于弹簧电缆（9）的零线，另一端连接于双向可控硅（12）以及保险丝（10）连接于弹簧电缆（9）的火线，一电容（11）并联于双向可控硅（12）两端，所述调速开关（8）与电阻（13）串联后并联于双向可控硅（12）两端，所述传动轴（2）的头端可拆卸的固定有用于打磨的打磨装置或用于清洁保养的保养装置。
【技术特征摘要】
1.一种装载薄膜基片工件架的打磨、保养装置，其特征在于:包括壳体(I)、通过轴承(3)转动安装于安装于壳体(I)内的传动轴(2)、安装于壳体(I)内的电机(7)、安装于电机(7)输出轴上的蜗杆(6)、安装于传动轴(2)尾端且与蜗杆(6)相互哨合的蜗轮(5)、固定于壳体(I)后方的弹簧电缆(9)以及安装于壳体(I)后端的调速开关(8)，电机(7) —端连接于弹簧电缆(9)的零线，另一端连接于双向可控硅(12)以及保险丝(10)连接于弹簧电缆(9)的火线，一电容(11)并联于双向可控硅(12)两端，所述调速开关(8)与电阻(13)串联后并联于双向可控硅(12)两端，所述传动轴(2)的头端可拆卸的固定有用于打磨的打磨装置或用于清洁保养的保养...
【专利技术属性】
技术研发人员：张磊磊，
申请(专利权)人：山东禹城汉能光伏有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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