【技术实现步骤摘要】
一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器
本专利技术涉及压力传感器
，具体涉及一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器。
技术介绍
传统的压电式传感器利用某些电介质材料具有压电效应的现象制成。压电效应是指在电介质的一定方向上施加外力(压力或拉力)作用而变形时，在其表面上产生电荷从而可以实现非电量的检测。压电式传感器具有体积小，重量轻，频带宽等特点，适用于对各种动态力，机械冲击与振动的测量，广泛应用在力学、声学、医学和宇航方面。压电式传感器是一种无源传感器。压电式传感器通常利用压电材料的正压电效应制成。然而在晶体学中，压电效应被严格限制在具有非中心对称结构的晶体中才存在，这大大限制了材料的选取和利用。另一方面天然的压电材料压电效应非常微弱，很难用于实际检测。目前广泛使用的压电材料主要由石英晶体和压电陶瓷，钛酸钡，镐钛酸铅(PZT)等材料。在工业上，镐钛酸铅这类压电陶瓷被大量的使用，由于镐钛酸铅含有重金属铅，对环境和人类健康都是有害的。并且压电传感器的一个明显缺点是对温度敏感，在居里温度以上压电效应失效。与压电效应不同，挠曲电效应是指由应变梯度引起的极化现象，挠曲电效应普遍存在于所有的电介质中，包括非压电材料和各向同性材料。挠曲电效应通常定义为:
【技术保护点】
一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，包括测量微压力引起机械振动的金属弹性元件（1），其特征在于：在所述金属弹性元件（1）的顶部粘贴有挠曲电介电薄膜（2），周边设置有绝缘层（3），所述挠曲电介电薄膜（2）上下表面分别设置有上金属电极（4）和下金属电极（5），所述挠曲电介电薄膜（2）的上金属电极（4）和下金属电极（5）分别连接有两条输出测量电荷信号的引线（6），所述金属弹性元件（1）下方具有施加压力的压力通道（7），所述挠曲电介电薄膜（2）连同上金属电极（4）和下金属电极（5）均置于外壳（8）内，两条引线（6）的一端从外壳（8）引出。
【技术特征摘要】
1.一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，包括测量微压力引起机械振动的金属弹性元件(1)，其特征在于:在所述金属弹性元件(I)的顶部粘贴有挠曲电介电薄膜(2)，周边设置有绝缘层(3)，所述挠曲电介电薄膜(2)上下表面分别设置有上金属电极(4)和下金属电极(5),所述挠曲电介电薄膜(2)的上金属电极(4)和下金属电极(5)分别连接有两条输出测量电荷信号的引线(6)，所述金属弹性元件(I)下方具有施加压力的压力通道(7)，所述挠曲电介电薄膜(2)连同上金属电极(4)和下金属电极(5)均置于外壳(8)内，两条引线(6)的一端从外壳(8)引出。2.根据权利要求1所述的一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，其特征在于:所述金属弹性元件(I)也置于外壳(8)内。3.根据权利要求1所述的一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，...
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