【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在扫描电子显微镜等带电粒子束装置中装载观察试样进行并进/旋转移动而使观察视野移动的台装置及其控制方法。
技术介绍
作为代表性的带电粒子束装置的扫描电子显微镜(SEM),一边二维状地向观察试样的表面扫描电子射束(初级电子线)一边进行照射,将从试样二次产生的次级电子的强度作为与初级电子线的扫描同步地扫描生成的图像的亮度调制输入,由此取得试样表面的SEM图像。这时,通过装载试样的台的移动来选择成为观察对象的试样表面。通常,操作者边看SEM图像边对跟踪球等操作输入单元进行操作,使台进行移动直到作为SEM图像而得到目标的试样表面部分为止。SEM被用于半导体图案的缺陷、不良的观察等,但近年来伴随着半导体工艺的细微化,要求在SEM中进行更高倍率的观察。因此,对在SEM中使用的台也要求更细微且高精度的动作。而且,在观察如半导体晶圆那样相同的细微的图案(单元)连续的试样的情况下,以一定速度向预定的方向扫描试样,通过目视或图像处理测量通过SEM画面上的单元的个数,由此确定观察位置。这被称为单元计数,为了进行该操作,需要进行用于使台的并进移动方向与试样的扫描方向一致的旋转(rotation)。另外,在试样的形状是立体的情况下,理想的是能够使观察方向变化而三维地观察试样,为此也需要进行旋转动作。边看SEM图像边进行台的操作,因此在使试样旋转时,理想的是能够以在SEM图像上设定的假想点为中心进行旋转从而使得视野不会移动。该动作功能被称为保持位置旋转(rotation eucentric)。在现有的台中,由于旋转轴的偏心、摇转、或致动器、传递结构的嘎嘎声和 ...
【技术保护点】
一种台装置,具备:旋转桌,其直接或经由试样支架载置试样;旋转机构,其使上述旋转桌旋转;并进机构,其使上述旋转桌并进移动;台控制单元,其根据从外部输入的旋转角指令值和并进位置指令值来控制上述旋转机构和上述并进机构,该台装置的特征在于,具备:设置在上述试样或上述试样支架或上述旋转桌上的能够测定位置和方向的标记;标记位置方向测定单元,其测定在依照预定的动作模式使上述旋转机构和上述并进机构动作时的上述标记的位置和方向;旋转中心确定单元,其根据上述测定的结果确定上述旋转桌的旋转中心位置;修正量表生成单元,其将修正上述旋转桌的旋转误差的旋转角修正量和修正上述旋转桌的旋转中心位置的位置变动的并进修正量生成为相对于旋转角的修正量;修正量表,其记录上述旋转角修正量和上述并进修正量;旋转机构控制单元以及并进机构控制单元,其从上述修正量表中取得与上述所输入的旋转角指令值或实际旋转角对应的上述旋转角修正量和上述并进修正量,使用取得的这些修正量控制上述旋转机构以及上述并进机构。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.06.09 JP 2011-1288971.一种台装置,具备:旋转桌,其直接或经由试样支架载置试样;旋转机构,其使上述旋转桌旋转;并进机构,其使上述旋转桌并进移动;台控制单元,其根据从外部输入的旋转角指令值和并进位置指令值来控制上述旋转机构和上述并进机构,该台装置的特征在于,具备: 设置在上述试样或上述试样支架或上述旋转桌上的能够测定位置和方向的标记; 标记位置方向测定单元,其测定在依照预定的动作模式使上述旋转机构和上述并进机构动作时的上述标记的位置和方向; 旋转中心确定单元,其根据上述测定的结果确定上述旋转桌的旋转中心位置; 修正量表生成单元,其将修正上述旋转桌的旋转误差的旋转角修正量和修正上述旋转桌的旋转中心位置的位置变动的并进修正量生成为相对于旋转角的修正量; 修正量表,其记录上述旋转角修正量和上述并进修正量; 旋转机构控制单元以及并进机构控制单元,其从上述修正量表中取得与上述所输入的旋转角指令值或实际旋转角对应的上述旋转角修正量和上述并进修正量,使用取得的这些修正量控制上述旋转机构以及上述并进机构。2.根据权利要求1所述的台装置,其特征在于, 上述修正量表生成单元测定只使上述旋转机构旋转时的上述标记的位置和方向,根据其结果求出上述旋转桌的旋转中心位置、修正旋转误差的上述旋转角修正量, 进而,上述修正量表生成单元测定使上述旋转机构和上述并进机构移动时的上述标记的位置,使得利用所得到的上述旋转桌的旋转中心位置和旋转角修正量以上述标记作为假想旋转中心位置进行旋转,根据其结果求出修正上述旋转桌的旋转中心位置的位置变动的并进修正量,根据所求出的`上述旋转角修正量和上述并进修正量生成相对于旋转角的上述修正量表。3.根据权利要求1或2所述的台装置,其特征在于, 上述台控制单元从上述修正量表中取得与上述所输入的旋转角指令值对应的旋转角修正量和上述并进修正量,求出将取得的上述旋转角修正量和上述并进修正量与上述所输入的旋转角指令值和并进位置指令值相加所得的修正指令值,针对上述修正指令值,经由上述旋转机构控制单元和上述并进机构控制单元控制上述旋转机构和上述并进机构。4.根据权利要求1或2所述的台装置,其特征在于,具备: 旋转角检测单元,其检测上述旋转桌的旋转角; 并进位置检测单元,其检测上述旋转桌的并进位置,其中 从上述旋转角检测单元和上述并进位置检测单元检测实际旋转角和实际并进位置,从上述修正量表中取得与上述实际旋转角对应的上述旋转角修正量和上述并进修正量,针对上述实际旋转角和上述并进位置减去上述旋转角修正量和上述并进修正量来求出修正旋转角和修正并进位置,使用上述修正旋转角和上述修正并进位置作为反馈量来控制上述旋转机构和上述并进机构。5.根据权利要求1~4的任意一项所述的台装置,其特征在于, 上述标记使用能够判定...
【专利技术属性】
技术研发人员:桃井康行,高桥要,羽根田茂,
申请(专利权)人:株式会社日立高新技术,
类型:
国别省市:
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