一种硅片甩干系统技术方案

技术编号:9665566 阅读:113 留言:0更新日期:2014-02-14 01:15
一种硅片甩干系统,所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架,其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片,所述甩干桶内设置有硅片固定装置,所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住,防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。相对于现有技术中固定部件至少有两点与硅片接触的甩干系统,本发明专利技术实施例的甩干系统大大减少了在甩干过程中硅片的玷污面积,进而提高了硅片的清洁度。

【技术实现步骤摘要】
—种硅片甩干系统
本专利技术涉及半导体制造
,具体涉及一种硅片甩干系统。
技术介绍
在硅片生产和使用过程中,需要根据工艺的需要对硅片进行清洗,清洗之后的硅片需要甩干以进入下一步工艺。硅片的甩干通常采用甩干系统完成,即将装满硅片的片架置于甩干机中,通过高速旋转将硅片甩干。现有技术中,采用这种高速旋转方式时通常在甩干桶内壁的斜上方(即在10点钟方向和14点钟方向)各设置一个固定部件,通过两个点与片架中的硅片接触,以将置于甩干桶内的片架中的硅片固定住。但是,随着技术的不断发展,对硅片的清洁度要求越来越高,通过两个点与片架中的硅片接触的方式无疑会造成一定面积的硅片的玷污,随着工艺的进步,这种甩干系统越来越无法满足工艺需求。
技术实现思路
为保证硅片在甩干过程中的清洁度、防止硅片玷污,本专利技术实施例提供一种硅片甩干系统,所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架,其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片,所述甩干桶内设置有硅片固定装置,所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住,防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。优选地,所述硅片固定装置与具有第二尺寸的硅片在置于第二片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将所述第二片架中的所述具有第二尺寸的硅片固定住,其中所述第二片架设置在所述第一片架中用来盛放所述具有第一尺寸的硅片的空间内,且所述第二片架与所述第一片架固定,所述第二片架用于盛放具有第二尺寸的硅片,所述第二尺寸小于所述第一尺寸。优选地,所述第一片架的两端各设置有一个或者一个以上螺纹孔,所述第二片架的两端的相应位置对应设置有一个或者一个以上螺纹孔,所述第二片架通过螺栓固定于所述第一片架内。优选地,所述第一片架包括相对设置的两个第一支撑侧板和固定在两个所述第一支撑侧板间且相对的两个第一插片侧板,所述第二片架包括相对设置的两个第二支撑侧板和固定在两个所述第二支撑侧板间且相对的两个第二插片侧板;所述第一片架设置螺纹孔的两端为所述第一片架的所述两个第一支撑侧板,所述第二片架设置螺纹孔的两端为所述第二片架的所述两个第二支撑侧板。优选地,所述硅片固定装置为固定在所述甩干桶内壁上的横板或者两端固定在所述甩干桶内壁上的横梁。优选地,所述横板或横梁朝向所述第一片架的一面具有锯齿状开口,所述第一片架固定于所述甩干支架上时,所述锯齿状开口与所述第一片架的插槽的位置一一对应。优选地,所述第二片架固定于所述第一片架内时,所述横板或横梁下方的锯齿状开口与所述第二片架的插槽的位置均一一对应。本专利技术实施例提供的硅片甩干系统,通过在甩干桶内设置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点的固定装置以将所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住,在甩干过程中甩干系统中的固定装置仅有一点与硅片接触,相对于现有技术中固定部件至少有两点与硅片接触的甩干系统,本专利技术实施例的甩干系统大大减少了在甩干过程中硅片的玷污面积,进而提高了硅片的清洁度。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,图中相同的标记表示相同的部件,显而易见地,下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图,重点在于示出本专利技术的主匕曰ο图la、lb、lc和Id分别是本专利技术实施例一的立体图、主视图、图1a中硅片甩干系统的A-A向剖视图和使用过程中的结构示意图;图2a、2b、2c和2d分别是本专利技术实施例二的立体图、主视图、图2a中硅片甩干系统的A-A向剖视图和使用过程中的结构示意图,图2eT2g为本专利技术实施例二的具体示例的结构示意图;图3a、3b、3c和3d分别是本专利技术实施例三的立体图、主视图、图3a中硅片甩干系统的A-A向剖视图和使用过程中的结构示意图;图4a、4b、4c和4d分别是本专利技术实施例一的立体图、主视图、图4a中硅片甩干系统的A-A向剖视图和使用过程中的结构示意图;附图标记:1-甩干桶,2-甩干支架,3-硅片固定装置,4-第一片架,5-第二片架,6_螺纹孔,7-具有第一尺寸的硅片,8-具有第二尺寸的硅片,9-第一片架的第一支撑侧板,10-第一片架的第一插片侧板,11-第一插片侧板的插槽,12-第一片架的底板,13-第二片架的第二支撑侧板,14-第二片架的第二插片侧板,15-第二插片侧板的插槽,16-第二片架的底板。【具体实施方式】为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。实施例一图la、lb分别是本专利技术实施例一的立体图和主视图,图1c是图1a中硅片甩干系统的A-A向剖视图,为清楚起见,本专利技术实施例附图中的甩干系统均添加了片架(包括第一片架和/或第二片架)。一并参见图la、Ib和lc,本专利技术实施例一提供一种硅片甩干系统,该硅片甩干系统包括甩干桶1、甩干桶I内用于固定第一片架4的甩干支架2,以及甩干桶I内的硅片固定装置3 ;其中,第一片架4通过甩干支架2固定在甩干桶I内,第一片架4用于盛放具有第一尺寸的硅片,该具有第一尺寸的硅片可以是本领域常用的任意尺寸的硅片。本专利技术实施例一中的甩干支架2可以是本领域常用的结构,只要能够将第一片架4固定在甩干桶I内并且能够保证在高速旋转过程中第一片架4不会移位或者滑落即可,通常,该甩干支架2需要与第一片架4的结构相配合,以将第一片架4固定在甩干桶I内,即第一片架4的结构不同则会造成用于将第一片架4固定在甩干桶I内的甩干支架2的结构亦不同。具体地,甩干支架2可以内置在甩干桶I内壁上与甩干桶I成为一体,也可以单独通过固定连接方式与甩干桶I连接,如可以通过螺栓固定在甩干桶I的内壁上。 本专利技术实施例一中的甩干支架2可以采用金属材料或者非金属材料制成,具体地可以依设计要求而定。本专利技术实施例一中的甩干桶I内壁上设置有硅片固定装置3,该硅片固定装置3与具有第一尺寸的硅片7接触于一点以将第一片架4中的具有第一尺寸的硅片(图1a中示意性地仅仅示出了一个硅片7)固定住,防止在甩干过程中第一片架4中的硅片滑落或者碎m? ο在图1a~图1d中,该硅片固定装置3为横梁,实际上,该硅片固定装置3也可以为固定在甩干桶I内壁上的横板或者其他结构。在本实施例中,该硅片固定装置3与硅片的正上方(即硅片7在置于第一片架4中时裸露出来的边缘的中点位置)接触从而将硅片固定,如图1d所示。实际上,硅片固定装置3只要能够与硅片7在置于第一片架4中时裸露出来的边缘上的任何一点接触均可以,都能够在甩干系统工作时防止具有第一尺寸的硅片7滑落或者碎裂,其中硅片固定装置3可以采用聚氯乙烯(Poly Vinyl Chloride, PVC)、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片甩干系统,所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架,其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片,其特征在于,所述甩干桶内设置有硅片固定装置,所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住,防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。

【技术特征摘要】
1.一种硅片甩干系统,所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架,其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片,其特征在于,所述甩干桶内设置有硅片固定装置,所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住,防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。2.根据权利要求1所述的硅片甩干系统,其特征在于,所述硅片固定装置与具有第二尺寸的硅片在置于第二片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将所述第二片架中的所述具有第二尺寸的硅片固定住,其中所述第二片架设置在所述第一片架中用来盛放所述具有第一尺寸的硅片的空间内,且所述第二片架与所述第一片架固定,所述第二片架用于盛放具有第二尺寸的硅片,所述第二尺寸小于所述第一尺寸。3.根据权利要求2所述的硅片甩干系统,其特征在于,所述第一片架的两端各设置有一个或者一个以上螺纹孔,所述第二片架的两端的相应位置对应设置有一个或者一个以上螺纹孔,所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:熊文娟王大海蒋浩杰
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1