高频封装制造技术

本发明专利技术提供一种高频封装。在多层基板中，作为将所搭载的高频器件产生的高频信号从最上层向最下层传输而向基板外部输出并将从基板外部向所述最下层输入的高频信号传输到所述高频器件的结构，形成有模拟同轴线路，该模拟同轴线路将对在所述最上层的上表面形成的金属图案与在所述最下层的下表面形成的金属图案之间进行连接的上下贯通通路作为中心导体、并且将在其周围对2个以上的层间进行连接且呈环状配置的多个层间通路作为外导体，其中，使所述上下贯通通路的全部或一部分为不使用通路的使导体焊盘对置的电容器结构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高频封装
本专利技术涉及在微波波段或毫米波波段工作的电子装置中所使用的高频封装。
技术介绍
在微波波段或毫米波波段工作的电子装置中所使用的高频封装是对搭载有在微波波段或毫米波波段工作的高频器件（MMIC：单片微波集成电路）的多层基板进行封装化而成的，在该多层基板的最下层进行与外部的电连接。因此，在构成该高频封装的多层基板上，作为将所搭载的高频器件产生的高频信号向基板外部输出并将来自基板外部的高频信号输入到高频器件的结构，在多层基板内形成有将最上层与最下层之间连通的模拟同轴线路。该模拟同轴线路是如下结构：例如像专利文献1所公开的那样，将对与高频器件的输入输出端口连接且形成在最上层的上表面的金属图案与形成在最下层的下表面的金属图案之间进行连接的上下贯通通路（via）作为中心导体，将在其周围对2个以上的层间进行连接并呈环状配置的多个层间通路作为外导体。在最下层的下表面形成的金属图案经由BGA（球栅阵列（ballgridarray））与其它的多层基板连接。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平6－85099号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题可是，在制造多层基板时，有时会由于热应力等而在某个层的基板产生裂缝。这样，在安装了高频器件的运用时，在该裂缝延伸到形成中心导体的上下贯通通路的形成部分的情况下，使上下贯通通路断线，因此，存在发生高频信号的通过特性较大地劣化的情况的问题。本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于得到一种利用即使裂缝以横穿模拟同轴线路的中心导体形成区域的方式产生，也能抑制高频信号的通过特性的劣化的结构的多层基板的高频封装。用于解决课题的方案为了解决上述的课题并达成目的，本专利技术提供一种利用了多层基板的高频封装，在该多层基板中，作为将所搭载的高频器件产生的高频信号从最上层向最下层传输而向基板外部输出并将从基板外部向所述最下层输入的高频信号传输到所述高频器件的结构，形成有模拟同轴线路，该模拟同轴线路将对在所述最上层的上表面形成的金属图案与在所述最下层的下表面形成的金属图案之间进行连接的上下贯通通路作为中心导体、并且将在其周围对2个以上的层间进行连接且呈环状配置的多个层间通路作为外导体，所述高频封装的特征在于，使所述上下贯通通路的全部或一部分为不使用通路的使导体焊盘对置的电容器结构。专利技术效果根据本专利技术，即使在内层的基板产生的裂缝延伸到形成模拟同轴线路的中心导体的区域，作为高频信号的传送路径的模拟同轴线路的结构也被电容器结构维持而继续存在，因此，起到能抑制高频信号的通过特性的劣化的效果。附图说明图1是示出本专利技术的一个实施方式的高频封装的主要部分结构的截面图。具体实施方式以下，基于附图详细地对本专利技术的高频封装的实施方式进行说明。另外，本专利技术并不被该实施方式所限定。实施方式图1是示出本专利技术的一个实施方式的高频封装的主要部分结构的截面图。在图1中，在构成高频封装的多层基板1上搭载有高频器件（MMIC）2。高频器件2的输入输出端口通过引线3与在多层基板1的最上层的上表面形成的微带线路4的一端连接。此外，在多层基板1中，在最上层与最下层之间形成有模拟同轴线路5。模拟同轴线路5的中心导体由一端与微带线路3连接且另一端贯通多个内层的层间通路6和配置在层间通路6的另一端与最下层之间的电容器结构7构成。此外，模拟同轴线路5的外导体由在中心导体（层间通路6+电容器结构7）的周围对2个以上的层间进行连接并呈环状配置的多个层间通路8构成。一般来说，嵌入在多层基板中的模拟同轴线路的中心导体由贯通最上层与最下层之间而进行连接的上下贯通通路构成，但是，在图1中示出了使该上下贯通通路的一部分为电容器结构7的情况。在图1中，电容器结构7是在连续的三个层使导体焊盘9a、9b、9c对置的结构。导体焊盘9a与层间通路6的另一端连接，导体焊盘9b形成在最下层的下表面。导体焊盘9c配置在导体焊盘9a与导体焊盘9b之间。即，图1所示的电容器结构7是将两个电容器以串联方式配置的结构。多层基板1的最下层隔着构成BGA的焊料球10a、10b安装在其它的多层基板11的上表面。焊料球10a将构成模拟同轴线路5的中心导体的另一端的导体焊盘9b与在其它的多层基板11的上表面形成的微带线路12之间连接。焊料球10b将构成模拟同轴线路5的外导体的层间通路8与在其它的多层基板11的上表面形成的接地导体13之间连接。在以上的结构中，在由于制造基板时的热应力等而在多层基板1的内层产生了裂缝14的情况下，在安装了高频器件2的运用时，即使该裂缝14延伸到形成中心导体的区域，作为高频信号的传送路径的模拟同轴线路5的结构也被电容器结构7维持而继续存在，因此，能抑制高频信号的通过特性的劣化。虽然在图1中示出了在形成电容器结构7的层的基板产生裂缝14的情况，但是，裂缝14会在内层的任意的基板产生。例如，裂缝14有时也会产生在形成有层间通路6的多个层内的任意层。在该情况下，不能利用电容器结构7进行补救，中心导体发生断线。因此，可以说优选使模拟同轴线路5的中心导体的整体为电容器结构。是在最上层与最下层之间以串联方式配置有多个电容器的结构。而且，可以说在图1中示出了能从经验上特别确定由于热应力而产生裂缝的内层的基板的情况。像这样，根据本实施方式，即使以横穿模拟同轴线路的中心导体形成区域的方式产生裂缝，作为高频信号的传送路径的模拟同轴线路的结构也被电容器结构维持而继续存在，因此，能抑制高频信号的通过特性的劣化。产业上的可利用性像以上那样，本专利技术的高频封装作为利用即使以横穿中心导体形成区域的方式产生裂缝也能抑制高频信号的通过特性的劣化的多层基板的高频封装是有用的。附图标记说明1：多层基板；2：高频器件（MMIC）；3：引线；4、12：微带线路；5：模拟同轴线路；6、8：层间通路；7：电容器结构；9a、9b、9c：导体焊盘；10a、10b：焊料球；11：其它的多层基板；13：接地导体；14：裂缝。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用了多层基板的高频封装，在该多层基板中，作为将所搭载的高频器件产生的高频信号从最上层向最下层传输而向基板外部输出并将从基板外部向所述最下层输入的高频信号传输到所述高频器件的结构，形成有模拟同轴线路，该模拟同轴线路将对在所述最上层的上表面形成的金属图案与在所述最下层的下表面形成的金属图案之间进行连接的上下贯通通路作为中心导体、并且将在其周围对2个以上的层间进行连接且呈环状配置的多个层间通路作为外导体，所述高频封装的特征在于，使所述上下贯通通路的全部或一部分为不使用通路的使导体焊盘对置的电容器结构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.05.24 JP 2011-1156651.一种利用了多层基板的高频封装，在该多层基板中，作为将所搭载的高频器件产生的高频信号从最上层向最下层传输而向基板外部输出并将从基板外部向所述最下层输入的高频信号传输到所述高频器件的结构，形成有模拟同轴线路，该模拟同轴线路将对在所述最上层的上表面形成的金属图案与在所述最下层的下表面形成的与用于连接到其它的多层基板的焊料球抵接的最下层的导体焊盘之间进行连接的上下贯通通路作为中心导体、并且将在其周围对2个以上的层间进行连接、呈环状配置的、并且接地连接的多个层间通路作为外导体，所述高频封装的特征在于，使所述上下贯通通路的至少一部分为使导体焊盘对置的电容器结构，在可能发生裂缝的三层、即包含最下层在内的连续的三层使所述最下层的导体焊盘、其上位层的导体焊盘、以及其...

【专利技术属性】
技术研发人员：海野友幸，稻见和喜，八十冈兴祐，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：
国别省市：