【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种新型电光源用电容器，它涉及电容器领域。它包括上层可动金属膜、下层可动金属膜、氮化物隔离层和硅基层，硅基层上设置有氮化物隔离层，氮化物隔离层上方依次设置有下层可动金属膜和上层可动金属膜，所述的下层可动金属膜上表面还设置有氮化物薄膜。本技术结构简单，反应速度快、受环境改变的影响比较小、消耗能量少、使用寿命长。【专利说明】一种新型电光源用电容器
本技术涉及的是电容器领域，具体涉及一种新型电光源用电容器。
技术介绍
电容量可在某一小范围内调整，并可在调整后固定于某个电容值的电容器称作可调电容器，也叫做半微调电容器。可调电容是没有极性的。传统的静电驱动金属膜式单极板可调电容器的可调范围小，驱动速度快不够快。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足，本技术目的是在于提供一种新型电光源用电容器，结构简单，反应速度快、受环境改变的影响比较小、消耗能量少、使用寿命长。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现:一种新型电光源用电容器，包括上层可动金属膜、下层可动金属膜、氮化物隔离层和硅基层，硅基层上设置有氮化物隔离层，氮化物隔离层上方依次设置有下层可动金属膜和上层可动金属膜，所述的下层可动金属膜上表面还设置有氮化物薄膜。作为优选，所述的上层可动金属膜与氮化物薄膜之间设置有2μπι的空气层。作为优选，所述的氮化物隔离层与下层可动金属膜之间设置有0.5 μ m的空气隙。本技术结构简单，反应速度快、受环境改变的影响比较小、消耗能量少、使用寿命长。【专利附图】【附图说明】下面结合附图和【具体实施方式】来详细说明本技术；图1为本技术的结构示意图。【...
【技术保护点】
?一种新型电光源用电容器，其特征在于，包括上层可动金属膜(1)、下层可动金属膜(2)、氮化物隔离层(3)和硅基层(4)，硅基层(4)上设置有氮化物隔离层(3)，氮化物隔离层(3)上方依次设置有下层可动金属膜(2)和上层可动金属膜(1)，所述的下层可动金属膜(2)上表面还设置有氮化物薄膜(21)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：罗学民，刘宇，罗浩民，
申请(专利权)人：长兴友畅电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。