研磨装置制造方法及图纸

技术编号:9414567 阅读:78 留言:0更新日期:2013-12-05 12:48
本实用新型专利技术提出一种研磨装置,包括研磨平台、粘附于所述研磨平台上的研磨垫、与所述研磨平台下端连接的自转马达和公转马达、位于所述研磨垫上方的研磨吸附器以及研磨液供应器;通过添加自转马达和公转马达带动研磨平台在进行自转的同时也进行公转,所述研磨吸附器使待测晶圆固定在所述研磨平台中心,避免了所述待测晶圆与所述研磨垫边缘接触,同时由于所述研磨平台在进行自转和公转,能够提高研磨垫对待测晶圆的研磨效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种研磨装置,其特征在于,包括研磨平台、粘附于所述研磨平台上的研磨垫、带动所述研磨平台进行自转的自转马达、带动所述研磨平台进行公转的公转马达、位于所述研磨垫上方的研磨吸附器以及研磨液供应器,其中,所述自转马达和公转马达均与所述研磨平台下端连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:唐强李广宁
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造北京有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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