【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种动压浮离抛光装置，包括机架、抛光盘和研磨盘，所述抛光盘位于所述研磨盘的上方，所述抛光盘与主轴下端连接，其特征在于：所述抛光装置还包括电容测距模块、伺服微进给模块和动压盘浮离模块，其中，电容测距模块包括安装在主研磨盘上的三个电容传感器；所述伺服微进给模块包括伺服电机、伺服电机安装架、联轴器、丝杠和丝杠螺母，伺服电机通过联轴器与丝杠传动连接，丝杠与所述丝杠螺母配合，丝杠螺母通过螺栓与滑台相连接，所述伺服电机安装在所述伺服电机安装架，所述伺服电机安装架安装在机架上，所述滑台的两端设有滑套，所述滑套可上下滑动地套装在立柱上，所述立柱安装在机架上；所述动压盘浮离模块包括直流电机、电机连接轴、限位轴套、主轴连接套、限位板和微动升降器，所述直流电机的输出轴与电机连接轴连接，所述电机连接轴通过导向平键带动限位轴套转动，所述限位轴套再通过导向平键依次将动力传递给主轴连接套和主轴，所述主轴与抛光盘连接，所述动压盘浮离模块还包括限位板、微动升降器、电机连接架、定圈、推力球轴承、弹簧和锁紧螺母，所述微动升降器与限位板相连接，通过粗调和精调旋钮对限位板进行调节，所述限位板依次通过推力球轴承和限位轴套对弹簧施...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朴钟宇，徐钉，文东辉，王扬渝，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：实用新型
国别省市：
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