一种阳极键合批量化生产设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种阳极键合批量化生产设备，其组成包括主电器控制柜(10)，设置在所述主电器控制柜(10)上部的上壳体(6)，所述上壳体(6)内部设有批量阳极键合系统(8)，以及与批量阳极键合系统(8)相连的料盘传送系统(3)和三自由度吸附手(4)，所述料盘传送系统(3)两端分别连接有批量进料机构(2)和批量出料机构(9)，所述上壳体(6)外部设有操作面板(7)和显示器(1)。通过上述方式，本实用新型专利技术能够提高键合效率、增强键合强度和表面质量、适应多个品种的键合要求。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种阳极键合批量化生产设备，其特征是：其组成包括主电器控制柜(10)，设置在所述主电器控制柜(10)上部的上壳体(6)，所述上壳体(6)内部设有批量阳极键合系统(8)，以及与批量阳极键合系统(8)相连的料盘传送系统(3)和三自由度吸附手(4)，所述料盘传送系统(3)两端分别连接有批量进料机构(2)和批量出料机构(9)，所述上壳体(6)外部设有操作面板(7)和显示器(1)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈立国，潘明强，陈涛，李光辉，
申请(专利权)人：苏州迪纳精密设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：