一种阳极自动化键合设备制造技术

技术编号:9390151 阅读:148 留言:0更新日期:2013-11-28 05:20
本实用新型专利技术公开了一种阳极自动化键合设备,包括一个键合处理加热炉,其上部具有一个工件吸取杆,所述工件吸取杆安装于可在垂直方向移动的升降移动机构上,所述升降移动机构的一侧安装视觉显微系统和智能温度调节表;所述键合处理加热炉底部安装一个位移旋转平台。本实用新型专利技术能够满足微机电系统的键合条件,通过智能调节,使键合后产品质量高,操作简便,提高了阳极键合的工业应用范围。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种阳极自动化键合设备,其特征在于包括一个键合处理加热炉,其上部具有一个工件吸取杆,所述工件吸取杆安装于可在垂直方向移动的升降移动机构上,所述升降移动机构的一侧安装视觉显微系统和智能温度调节表;所述键合处理加热炉底部安装一个位移旋转平台。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈涛潘明强陈立国王阳俊刘吉柱
申请(专利权)人:苏州迪纳精密设备有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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