【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于前向衍射光光强分布测量的对中装置及方法,其特征在于所述对中装置包括光电探测器阵列、精密三维位移平台、x向和y向调整电路;所述对中装置采用了根据夫朗和费衍射理论设计的多个同心圆环硅光电探测器阵列作为光电转换器件,同心圆环的圆心处开有一小孔;在光电探测器阵列上还设计有用于对中的两个关于坐标系y轴对称的四分之一圆环硅光电探测器及两个关于坐标系x轴对称的二分之一圆环硅光电探测器,所述两个二分之一圆环硅光电探测器的两个输出信号给y向调整电路,所述两个四分之一圆环硅光电探测器的两个输出信号给x向调整电路;所述精密三维位移平台可以分别沿坐标系x轴、y轴和z轴做精密移动,所述光电探测器阵列固定在所述精密三维位移平台的xoy平面上,所述光电探测器阵列上各同心圆环的圆心在坐标系的原点o上,所述坐标系z轴正向沿所述光电探测器阵列平面的副法向,且与光路光轴方向平行;所述光电探测器阵列沿坐标系x轴、y轴和z轴的位置可以分别通过精密三维位移平台的x向、y向和z向调节机构来调整;所述y向调整电路包括放大器1、放大器2和比较器1,通过调节放大器1和放大器2的放大倍数可以使比较器1的输出为0;所述x向调整电路包 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:徐立军,曹章,魏天啸,蔡小舒,
申请(专利权)人:北京航空航天大学,
类型:发明
国别省市:
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