【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种静电驱动频率可变微机械谐振器,其特征在于:其包括,一衬底,一谐振梁,所述谐振梁安装于所述衬底上,所述谐振梁两端分别向两侧延伸形成延伸构件,且所述谐振梁两侧向外延伸形成动齿电极;两外部构件,所述两外部构件分别位于所述谐振梁两侧,所述外部构件两端设有挤压部件,所述挤压部件由外部构件两端向谐振梁方向延伸,且所述外部构件上还设有定齿电极,且所述定齿电极与所述动齿电极相交错;同时,所述两外部构件能够相对所述谐振梁移动,当所述两外部构件靠近所述谐振梁时,所述挤压部件挤压所述延伸构件以改变谐振梁长度。
【技术特征摘要】
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