一种静电驱动频率可变微机械谐振器制造技术

技术编号:9358331 阅读:228 留言:0更新日期:2013-11-21 01:38
一种静电驱动频率可变微机械谐振器,其包括,一谐振梁,所述谐振梁两端分别向两侧延伸形成延伸构件,且所述谐振梁两侧向外延伸形成动齿电极;两外部构件,所述两外部构件分别位于所述谐振梁两侧,所述外部构件两端设有挤压部件,所述挤压部件由外部构件两端向谐振梁方向延伸,且所述外部构件上还设有定齿电极,且所述定齿电极与所述动齿电极相交错;同时,所述两外部构件能够相对所述谐振梁移动,当所述两外部构件靠近所述谐振梁时,所述挤压部件挤压所述延伸构件以改变谐振梁长度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种静电驱动频率可变微机械谐振器,其特征在于:其包括,一衬底,一谐振梁,所述谐振梁安装于所述衬底上,所述谐振梁两端分别向两侧延伸形成延伸构件,且所述谐振梁两侧向外延伸形成动齿电极;两外部构件,所述两外部构件分别位于所述谐振梁两侧,所述外部构件两端设有挤压部件,所述挤压部件由外部构件两端向谐振梁方向延伸,且所述外部构件上还设有定齿电极,且所述定齿电极与所述动齿电极相交错;同时,所述两外部构件能够相对所述谐振梁移动,当所述两外部构件靠近所述谐振梁时,所述挤压部件挤压所述延伸构件以改变谐振梁长度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:田文超扈江磊杨丽琴
申请(专利权)人:西安电子科技大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1