一种气质联用仪载气控制气路装置制造方法及图纸

技术编号:9307164 阅读:187 留言:0更新日期:2013-10-31 05:13
本实用新型专利技术涉及一种气质联用仪。本实用新型专利技术公开了一种气质联用仪载气控制气路装置,其中,质量流量计一通过T型三通一与电磁阀二的一端连接,电磁阀二的另一端与汽化室连接,T型三通一还与电磁阀一的一端连接,电磁阀一的另一端与T型三通二连接,T型三通二还与汽化室的载气入口连接,T型三通二还与压力传感器的一端连接,压力传感器另一端通过质量流量计二与稳流阀的出气口连接,稳流阀还连接一个指针式压力表,针型阀连接在汽化室的吹扫气出口端用于调节吹扫气的流量,汽化室还与毛细柱连接。本实用新型专利技术能实现压力/流量控制、横流恒压模式控制、温度流速补偿,能明显降低分流状态电磁阀切换时的压力/流量波动和反应时间慢的问题。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种气质联用仪载气控制气路装置,其特征在于:质量流量计一通过T型三通一与电磁阀二的一端连接,电磁阀二的另一端与汽化室连接,T型三通一还与电磁阀一的一端连接,电磁阀一的另一端与T型三通二连接,T型三通二还与汽化室的载气入口连接,T型三通二还与压力传感器的一端连接,压力传感器另一端通过质量流量计二与稳流阀的出气口连接,稳流阀还连接一个指针式压力表,针型阀连接在汽化室的吹扫气出口端用于调节吹扫气的流量,所述汽化室还与毛细柱连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李选培
申请(专利权)人:北京东西分析仪器有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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